MKS MultiGas? 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監控,氣體純度和組成分析,環境有毒有害氣體監視和工業尾氣監視。
MKS的應用場合包括:
①煙囪監測器
②工藝監測改進和優化
③空氣環境分析
④氣體純度分析
⑤燃燒排放監測
⑥選擇性硅整流催化還原性能監測
規格:
測試技術:傅利葉變換紅外光譜
可測試氣體或水蒸氣:絕大多數分子除了氮氣,氧氣和氫氣
范圍:濃度從10ppb到100%
傅利葉變換紅外:2102制成傅利葉變換紅外
光譜分辨率:0.5 - 128cm-1
掃描速度:每秒5次在0.5cm-1
掃描時間:1 – 300秒
紅外源:碳化硅在1200℃
參考激光:氦氖(15798.2cm-1)
檢測器:液氮冷卻MCT或半導體制冷冷卻MCT(汞-鎘-碲化物)
清潔(Purge)壓力:最大20PSI(1.5bar)
光譜室Purge流量: 0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣
光學系統Purge流量:0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣
壓力傳感器:MKS Baratron? 電容式薄膜壓力傳感器
Purge連接:Swagelok? 快速接頭
電腦要求:臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰?處理器,微軟Wingdows?XP操作系統1024 X 768顯示
通訊口:RJ-45交叉以太網
輸出選件:XML,模擬,AK,其他
尺寸:445mm寬 X 318mm高 X 648mm深
安裝:可安裝于19英寸標準機柜
電源:110V或220V,50/60hz,3A
重量:50公斤